シラン【silane】とは

シラン【silane】とは｜一般用語

水素化ケイ素の総称。一般式 SinH2n＋2　普通は，モノシラン SiH4をさす。これは，無色刺激臭の気体で半導体用ケイ素の製造原料となる。