しんくうじょうちゃく【真空蒸着】とは|一般用語
真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。
あ
き
か
し
こ
あ
あ
え
お
け
か
き
う
く
か
け
き
こ
し真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。