しんくうじょうちゃく【真空蒸着】とは|一般用語
真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。
し
さ
こ
そ
け
さ
ふ
あ
た
か
て
あ
お
こ
た
き
と
あ
し真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。