しんくうじょうちゃく【真空蒸着】とは|一般用語
真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。
と
つ
こ
ひ
き
き
ら
け
く
し
け
た
こ
せ
お
か
ち
た
し真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。