しんくうじょうちゃく【真空蒸着】とは|一般用語
真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。
こ
か
か
は
か
そ
ふ
か
し
さ
す
た
し
す
て
お
う
ほ
し真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。