しんくうじょうちゃく【真空蒸着】とは|一般用語
真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。
し
か
え
あ
く
あ
き
き
あ
こ
す
こ
た
し
え
お
け
け
し真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ,蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング,光学部品の反射膜など数 nm から数μm の膜の形成に利用。