超純水（ちょうじゅんすい）（hyperpure water）とは

粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率（25℃）が15～20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。
https://kabu-watanabe.com/glossary/denki/17ti/057.html