ステッパー（すてっぱー）（stepper）とは
半導体製造装置の一つ。ウェーハ上に回路パターンを縮小投影し、繰り返し転写する装置。
ステッパー｜す｜設備用語集｜株式会社渡辺｜問題解決のスペシャリスト集団
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