粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率(25℃)が15~20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。
https://kabu-watanabe.com/glossary/denki/17ti/057.html
し
地被り(じかぶり)(-)とは
し
け
せ
か
さ
ち
こ
お
こ
さ
あ
と
く
し
し
あ
か
き
ち粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率(25℃)が15~20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。
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