粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率(25℃)が15~20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。
https://kabu-watanabe.com/glossary/denki/17ti/057.html
て
手戻り(てもどり)とは
て
し
い
ふ
か
た
お
せ
か
ひ
こ
あ
す
そ
し
あ
か
て
ち粒子、有機物、電解質の混入が極めて少なく、抵抗率(25℃)が15~20MΩ・cmの水。半導体製造の必需品であり、一般蒸留水より抵抗率が1けた大きい。
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